嚴格管控灰塵大小及數量的環境

2022-06-28

環境在現代工業中早已被廣泛應用於半導體生產、液晶螢幕生產、精密器械、醫療等行業之中,尤其以半導體晶圓製程對無塵等級的要求最高,因為現今的晶圓已經都發展到奈米級的水準. 嚴格管控環境是我們的責任. 

潔淨室約 300 坪 

測試環境:溫度 18±1℃、濕度 60±10%RH 

Particle分析 分析儀器:TSI AeroTrak™ 9309

 無機性氣體環境濃度分析 測試樣品:Inorganic 分析儀器:IC 

有機性氣體環境濃度分析 測試樣品:吸附管 分析儀器:TD-GC-MS